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压电式加速度传感器特点

发布时间:2020/9/5

近年来随着航空、航天等各种工程技术的发展,越来越多的场合需要取得精确地动态数据,其中振动、冲击、压力、声强等参数的测量占有重要的地位。各种传感器、信号适调仪、分析、记录、处理仪器就是为了满足这种要求而发展起来的,其中传感器是获得准确、真实数据的第一关,将所需测量的物理量转换为便于测量的物理量是使用传感器的目的。    

在传感技术的发展过程中,敏感元件的制作技术起着决定的作用,正是由于各种铁电材料的研制成功,硅应变敏感元件、电容敏感元件的研制成功,硅片微细加工技术的成功,才使得有可能制成各种新型传感器。    

在振动、冲击测量方面,广泛使用的是各种结构型式的压电式、集成电路式、压阻式和变电容式加速度传感器。


压电式加速度传感器是一种自发式传感器,其输出电荷与所感受的加速度成正比。它具有精确度高、频响宽、动态范围大、尺寸小、重量轻、寿命长、易于安装、稳定性好等特点??梢圆捎锰烊皇?,经过适当切割构成敏感元件,但灵敏度低,造价高。目前常用的是铁电材料,这是一种经过人工极化处理而具有压电性质的人工陶瓷,采用良好的配制烧结工艺可以得到很高的压电灵敏度和工作温度,经过老化处理后可以保证长期温度稳定性,它易于制成各种形状的敏感元件,已先后制成了各种结构形式的加速度传感器


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